产品功能

高性能主动减振器是超精密制造装备、晶圆检测与量测设备的重要组成部分。主动减振系统承载着超精密制造装备的整体重量，同时兼备隔振、减振、抗冲击的功能，保护晶圆生产工艺制造环节的稳定运行，提供高性能地基隔振，快速整定台面在检测与量测时运动冲击带来的台面波动，为晶圆生产工艺提供绝对超低振动的生产平台。

应用领域

高性能主动减振器不仅应用在精密制造行业，在精密机床、航空航天、电子电镜、显微测量等领域也广泛应用，结合不同使用场景的隔振性能要求，我方提供钢弹簧隔振体、气浮弹簧、磁浮弹簧等系列产品型号，以及分体式与一体式不同解决方案的减振平台，保障高端制造业的稳定发展。